이번 26조원 규모의 반도체 산업 종합 지원프로그램으로 70% 이상은 중소·중견기업이 혜택을 보게 될 것을 강조한 윤 대통령은 산업은행을 통한 17조원 규모의 '반도체 금융지원 프로그램' 신설이 기업들의 유동성 해결에 도움을 줄 것으로 기대했다. 

윤 대통령은 "기업들이 공장 신축, 라인 증설과 같은 설비에 막대한 자금을 투자하다 보니 유동성 문제가 발생하게 된다"며 "산업은행의 지원프로그램으로 이런 어려움이 그래도 많이 해소될 것"이라고 설명했다. 

올해 일몰되는 투자세액공제에 대해 윤 대통령은 "R&D와 설비 투자금의 일정비율을 국가가 환급해주는 세액공제는 보조금이나 다를 바 없다"면서 "올해 일몰되는 세액공제를 연장해 기업이 R&D와 설비투자에 어려움을 겪지 않도록 하겠다"고 말했다. 

반도체 기업에 대한 세액공제가 '대기업 감세'라는 일각의 주장을 일축한 윤 대통령은 '반도체 산업 세제지원→투자 확대→생태계 확장→기업수익 증대·양질 일자리 확대→세수 증가'라는 선순환 구조가 이뤄질 것으로 자신했다. 

"시간이 곧 보조금"이라고 언급한 윤 대통령은 반도체 클러스터 조성에 차질이 없게 전기, 용수, 도로 등의 인프라를 빠른 속도로 조성할 것을 밝혔고, 박상우 국토교통부 장관은 산업단지 개발계획 수립 후 착공까지 7년이 소요되지만 이를 절반으로 단축하겠다고 발표했다. 

한화진 환경부 장관도 반도체 메가 클러스터 용인국가산단과 일반산단에 함께 용수를 공급할 수 있는 통합관로를 설치해 기업들의 비용과 인허가 부담을 덜어주고 보다 안정적으로 용수를 공급할 수 있게 하겠다고 언급했다. 

1조원 규모의 '반도체 생태계 펀드' 조성과 관련, 윤 대통령은 "유망 팹리스와 소부장 기업들이 세계적인 기업으로 성장할 수 있게 지원할 것"이라면서 "미니 팹과 같이 공동으로 이용할 수 있는 실증 인프라는 기업이 원하는 수준으로 신속하게 구축하겠다"고 말했다.